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激光波長(zhǎng)(十大激光器排名)

浪起激光2022-01-2468510
光刻機(jī)的靈魂刻刀

最近幾年的中美貿(mào)易戰(zhàn)越演越烈,美國(guó)以保護(hù)國(guó)家安全為由加強(qiáng)禁令,導(dǎo)致華為被動(dòng)地出現(xiàn)了芯片危機(jī),甚至有可能被逼入絕境。作為中國(guó)的優(yōu)秀企業(yè),華為擁有著全國(guó)領(lǐng)先的技術(shù)。但為什么美國(guó)的一紙制裁書(shū),就能卡到華為的脖子呢?難道華為無(wú)法自己制造芯片嗎?當(dāng)然不是,問(wèn)題的關(guān)鍵,在于小而精這一點(diǎn)上。華為自己制造的芯片大概在7納米和14納米左右,而禁令之前,華為與臺(tái)積電合作生產(chǎn)的芯片,其最小制程已經(jīng)有望達(dá)到5納米左右。這東西是越小越金貴,禁令一出,華為只能找別家合作,但就是做7納米也蠻費(fèi)勁的。那么臺(tái)積電有的東西一定是我們所缺少的,這東西是什么呢?這就要從芯片的制造技術(shù)說(shuō)起了。

激光波長(zhǎng)(十大激光器排名)  第1張

談到芯片的制造,就不得不說(shuō)說(shuō)光刻機(jī)這個(gè)東西。它是一種能夠制造出芯片的高端精密儀器。光刻機(jī),顧名思義,就是用光學(xué)技術(shù)把各種各樣形式的電路刻在晶圓上面,之后再使用精密的儀器順著刻出來(lái)的樣子繼續(xù)加工,最后得到小而精的芯片,它可以完成大量的、復(fù)雜的運(yùn)算,可以處理很多任務(wù)。它可以放在電視、電腦、手機(jī)里,沒(méi)有這種東西,現(xiàn)代社會(huì)的很多電子產(chǎn)品就無(wú)法小型化、功能也無(wú)法復(fù)雜化。由此可見(jiàn),作為它的制造儀器光刻機(jī),顯然成了芯片產(chǎn)業(yè)中最昂貴且技術(shù)難度最高的機(jī)器,好幾億美金一臺(tái)的價(jià)格都算便宜的。

激光波長(zhǎng)(十大激光器排名)  第2張

光刻機(jī)

可是光刻機(jī)昂貴在哪里呢?既然它是整塊芯片的靈魂刻刀,那么它的關(guān)鍵就在一個(gè)“刻”字上,究竟有多鋒利的刀刃,能刻出這么小而精的芯片?世界上最鋒利的刀刃,不是金屬而是激光。光刻機(jī)使用了光學(xué)技術(shù),它最核心的東西就是用某種材料來(lái)控制光源,來(lái)達(dá)到我們想要的效果。也就是把光變成刀刃。

我們常見(jiàn)的光源有可見(jiàn)光和紫外光,其中紫外光又叫做UV,它能殺菌消毒,但同時(shí)對(duì)眼睛有很大的殺傷力,是肉眼不可直視的光源。而目前世界上發(fā)現(xiàn)的,比紫外光更具殺傷力的光源便是深紫外光和極紫外光,又稱(chēng)DUV和EUV。這些光源按照波長(zhǎng)來(lái)比較,EUV是波長(zhǎng)最短的光源。波長(zhǎng)越短的光,其頻率越高,如果利用起來(lái)進(jìn)行聚焦,則可以變成激光束來(lái)進(jìn)行切割,它可以使被照射的材料迅速熔化,并且借助與激光束同樣高速的氣流吹掉熔融物質(zhì),從而實(shí)現(xiàn)切割的目的。如果我們的要求更精密,不是切割而是雕刻呢?這就是光刻的原理。

激光波長(zhǎng)(十大激光器排名)  第3張

目前為止,波長(zhǎng)最短的EUV光源,所產(chǎn)生的激光所雕刻的芯片,精度更高。除了光源本身以外,將光源利用起來(lái)進(jìn)行聚焦、折射、甚至改變其波長(zhǎng)和頻率的光學(xué)晶體材料,也成了這類(lèi)精密儀器的核心部件,甚至對(duì)于所有激光類(lèi)儀器,都起著至關(guān)重要的作用。

然而,美國(guó)的禁令一出,華為和臺(tái)積電無(wú)法再合作,轉(zhuǎn)而與中芯國(guó)際合作制造芯片。不久后媒體就捕捉到中芯國(guó)際從荷蘭進(jìn)口了一臺(tái)大型光刻機(jī),通過(guò)出口加工區(qū)場(chǎng)站兩道閘口進(jìn)入廠區(qū),當(dāng)時(shí)給了業(yè)界很大期望,但后來(lái)才知道也只是DUV光刻機(jī)。而荷蘭最先進(jìn)的EUV光刻機(jī),一直受到美國(guó)的阻攔,始終不肯賣(mài)給中國(guó)。

如果你了解中國(guó)光學(xué)晶體材料的歷史,就不難看出,這些卡中國(guó)脖子的行為,也可能是美國(guó)為了雪恥,而進(jìn)行的報(bào)復(fù)。因?yàn)樵缭?0世紀(jì)80年代,中國(guó)就曾經(jīng)發(fā)明了領(lǐng)先于世界的,非線性光學(xué)晶體材料,并且在當(dāng)時(shí)禁止了這項(xiàng)產(chǎn)品和技術(shù)的外傳。換句話說(shuō),在激光科學(xué)領(lǐng)域,中國(guó)先卡過(guò)美國(guó)的脖子。

激光波長(zhǎng)(十大激光器排名)  第4張

大國(guó)工匠,一劍封喉的輝煌

中國(guó)的非線性光學(xué)晶體研究之路,是由幾代科研人員前赴后繼,所開(kāi)創(chuàng)出來(lái)的奮斗之路,是中華民族在落后屈辱中,不斷地進(jìn)行努力和抗?fàn)幍牡缆贰?978年,陳創(chuàng)天博士首次發(fā)現(xiàn)并合成了BBO晶體,也是第一塊“中國(guó)牌”非線性光學(xué)晶體,引起了世界激光學(xué)界的關(guān)注。在當(dāng)時(shí),成了熱銷(xiāo)品,世界上80%的BBO都是中國(guó)制造!

1987年,第二塊“中國(guó)牌”非線性光學(xué)晶體,即LBO晶體。由陳創(chuàng)天的學(xué)生吳以成研制成功。作為非線性光學(xué)晶體的傳承人,吳以成整整研究了三年。他和他的導(dǎo)師陳博士,樂(lè)觀平和,從不以研究為累、為苦。在他們看來(lái),為中國(guó)造出性能更好的非線性光學(xué)晶體,哪怕拼了命,也是值得的。師徒二人發(fā)明的“中國(guó)牌”晶體,廣泛應(yīng)用于激光技術(shù)領(lǐng)域。還被美國(guó)雜志評(píng)選為1989年世界十大激光高科技產(chǎn)品之一。

激光波長(zhǎng)(十大激光器排名)  第5張

而此時(shí)的陳創(chuàng)天,帶領(lǐng)著他的團(tuán)隊(duì),精益求精地又向前邁出了一大步。當(dāng)時(shí)在國(guó)際同行中流傳著一種說(shuō)法,說(shuō)是激光的波長(zhǎng)不可能再小于200納米了。然而陳創(chuàng)天團(tuán)隊(duì)卻在1990年的時(shí)候發(fā)現(xiàn)了一種能夠產(chǎn)生最短激光波長(zhǎng)為184.7納米的晶體。經(jīng)過(guò)多次試驗(yàn),最終成功地合成了這種晶體,因?yàn)樗怯煞疴斔徕浐铣傻?,因此取每個(gè)化學(xué)元素首字母來(lái)給它命名為KBBF晶體。陳創(chuàng)天發(fā)現(xiàn)BBO和LBO雖好,但卻只是把近紅外光轉(zhuǎn)化為可見(jiàn)光和近紫外光,無(wú)法產(chǎn)生深紫外光。只有KBBF晶體才完美地達(dá)到了這一目的。

激光波長(zhǎng)(十大激光器排名)  第6張

而深紫外非線性光學(xué)晶體是激光器的關(guān)鍵光學(xué)元件,且其綜合性直接決定著激光器輸出深紫外激光的光束質(zhì)量和轉(zhuǎn)換效率。通俗點(diǎn)說(shuō),就是它可以是一個(gè)高級(jí)磨刀石,可以把光做成你想要的刀,想讓它有多鋒利它就會(huì)有多鋒利。KBBF晶體是高端光刻機(jī)、激光光譜儀甚至是激光武器的核心元件,它的性質(zhì)和質(zhì)量,直接決定了這些精密儀器或者戰(zhàn)略性武器的質(zhì)量和精確程度。經(jīng)過(guò)大國(guó)工匠多年的努力奮斗,深紫外時(shí)代開(kāi)始了。KBBF晶體在國(guó)際上一面市就引起了世界的震動(dòng),一時(shí)間又成了搶手貨,一小塊就高達(dá)好幾萬(wàn)美元!

當(dāng)時(shí)的中國(guó)很快便意識(shí)到了KBBF晶體可以用于軍事用途的戰(zhàn)略意義,進(jìn)而對(duì)該材料進(jìn)行了禁售和技術(shù)封鎖。至此,一向傲慢的美國(guó)人慌了,小到教學(xué)科研和醫(yī)療設(shè)備,大到激光武器,凡是跟KBBF晶體有關(guān)的項(xiàng)目都因?yàn)橹袊?guó)禁售而被卡了脖子。美國(guó)人找陳創(chuàng)天以高價(jià)買(mǎi)KBBF晶體,直接被拒絕:不賣(mài)。美國(guó)人又希望用極高的薪水挖走陳創(chuàng)天,得到的答復(fù)也是直接被懟:不去。以至于美國(guó)《自然》雜志大吐苦水,發(fā)表了一篇文章,就叫做《中國(guó)藏起了這種晶體》。

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KBBF晶體

隨著光刻、激光加工以及激光光譜儀等等這些激光科學(xué)的飛速發(fā)展,KBBF晶體材料作為激光技術(shù)及光電子技術(shù)核心材料之一,在激光存儲(chǔ)、激光通信、激光制導(dǎo)、激光慣性約束核聚變等領(lǐng)域都具有著重要的應(yīng)用。美國(guó)人沒(méi)轍了,不知投入了多少人力物力財(cái)力,也開(kāi)始“自主研發(fā)”。經(jīng)過(guò)了15年的時(shí)間,最終于2016年,才研制出KBBF晶體,突破了中國(guó)的封鎖。

巨匠隕落,路漫漫其修遠(yuǎn)兮

在美國(guó)人著急研發(fā)的時(shí)候,追求完美的陳創(chuàng)天博士和他的團(tuán)隊(duì)依然馬不停蹄,繼續(xù)對(duì)KBBF晶體進(jìn)行了大量的研究工作,力求在這個(gè)過(guò)程中發(fā)現(xiàn)更多性能更優(yōu)良的光學(xué)晶體材料。

由于KBBF晶體的合成材料中有一種叫做鈹?shù)幕瘜W(xué)元素有劇毒,以此為研究方向,陳創(chuàng)天于2015年,發(fā)現(xiàn)了LSBO晶體,這是一種新型無(wú)鈹深紫外非線性光學(xué)晶體材料??梢蕴娲袆《疚镔|(zhì)鈹成為下一代深紫外線非線性光學(xué)晶體材料。但沒(méi)有想到的是,三年后,陳創(chuàng)天博士便因病逝世。一代科技巨匠悄無(wú)聲息地隕落了,這將成為我國(guó)在科技領(lǐng)域的重大損失。然而,中國(guó)的科技工作者們并不會(huì)因此而停下前進(jìn)的腳步,材料科學(xué)很重要,誰(shuí)掌握制作設(shè)備的工藝,誰(shuí)就更先進(jìn)。每個(gè)國(guó)家都有自己的強(qiáng)項(xiàng),掌握的強(qiáng)項(xiàng)越多,被別人卡脖子的機(jī)會(huì)也就越少。

激光波長(zhǎng)(十大激光器排名)  第8張

中國(guó)的激光技術(shù)雖然暫時(shí)領(lǐng)先于世界,但從美國(guó)突破技術(shù)封鎖和華為事件來(lái)看,中國(guó)科學(xué)家們未來(lái)還有很長(zhǎng)的路要走。通過(guò)科技工作者的共同努力,目前已經(jīng)發(fā)現(xiàn)的一系列新的KBBF族晶體,這其中有不少更優(yōu)良的材料。比如RABF晶體,其合成材料用鋁元素取代了有劇毒的鈹元素。ABBF晶體與KBBF晶體的結(jié)構(gòu)相同,同時(shí)保留了KBBF族晶體其他的性能特點(diǎn),通過(guò)水熱法進(jìn)行生長(zhǎng),雙折射率與KBBF晶體也十分接近。

中國(guó)晶體材料事業(yè)來(lái)之不易,經(jīng)過(guò)這么多年的努力,已經(jīng)在國(guó)際上有影響了,而且是世界領(lǐng)先水平。從“中國(guó)牌”晶體的發(fā)展歷程來(lái)看,中國(guó)在光刻技術(shù)方面還是有著堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)的,中國(guó)還有很大的上升空間。只要國(guó)家有決心,將來(lái)一定能夠攻克光刻機(jī)技術(shù)。只有把EUV光刻機(jī)研制出來(lái),華為這樣的優(yōu)秀企業(yè),才能不被禁令所掣肘。希望我國(guó)的晶體事業(yè),能夠繼續(xù)創(chuàng)造輝煌。

激光波長(zhǎng)(十大激光器排名)  第9張

KBBF族晶體

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