精密加工中紫外激光器的用途不小
移動設備例如智能手機和平板電腦正在以迅猛的速度增長。由于移動設備變得越來越小,速度越來越快,重量越來越輕,價格越來越便宜,同時也越來越多功 能,并且更復雜,因而零部件的制造也向小型化和精密化發(fā)展。對于一些關鍵的零部件,如半導體芯片、微電子封裝、觸摸顯示屏和印刷電路板(PCBs),它們 將繼續(xù)面臨挑戰(zhàn),例如提高良品率和生產(chǎn)率,同時還要降低成本。這推動了激光在移動設備制造中的廣泛應用。由于設備日益復雜,因而需要更多和更復雜的制造工 藝,同時對激光光源的研究進展也提出了更高要求。塑料專用紫外激光打標機
用波長和脈沖寬度更短以及低的M2(光束質量)的激光器能 創(chuàng)造一個聚焦更集中的光斑,并能保持最小的熱影響區(qū)(HAZ),從而實現(xiàn)更精密的微加工。高的能量吸收,尤其是在紫外(UV)波長和短脈沖范圍,材料將被 迅速汽化,從而減少熱影響區(qū)和炭化。較小的聚焦光斑可以實現(xiàn)精度較高、尺寸較小的加工。高功率、高脈沖重復頻率(PRF)、脈沖整形和脈沖分裂都可以為提 高微加工的生產(chǎn)率做出貢獻。持續(xù)的較高的脈沖穩(wěn)定性能確保過程的可重復性,幫助實現(xiàn)更高的良品率。紫外激光打標機獨到的特點?
傳統(tǒng)的紫外Q開關二 極管泵浦固體(DPSS)激光器能合理地滿足精密制造的要求,但是它們在實現(xiàn)更高的加工速度和較高的微加工質量方面還有所欠缺。提高加工速度的常用方法是 在保持其他工藝參數(shù)不變的同時提高激光的脈沖重復頻率。然而,對于典型的Q開關DPSS激光器來說,這是不可能實現(xiàn)的。這些激光器的平均功率和脈沖能量會 隨著脈沖重復頻率的增加而迅速下降。此外,在脈沖重復頻率較高時,激光脈沖寬度和脈沖能量波動往往會大幅增加。
本文將高脈沖重復頻率 下,高功率和獨立可調的紫外激光脈沖寬度以及先進的脈沖調控技術結合起來,并將其應用于各種微電子材料的微加工中,包括硅(在芯片制造中的應用)、氧化鋁 (在微電子封裝制造中的應用)、玻璃(觸摸顯示屏制造中的應用)和銅(印刷電路板和微電子封裝制造中的應用)。
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